Onto Innovation Inc. занимается проектированием, разработкой, производством и поддержкой инструментов управления технологическими процессами, которые выполняют контроль макродефектов и оптическую метрологию 2D / 3D, систем литографии и аналитического программного обеспечения для управления технологическими процессами, которые используются производителями кремниевых пластин, изготовителями полупроводниковых пластин и передовыми производителями упаковки. Продукция Компании включает автоматизированные метрологические системы, интегрированные метрологические системы, контроль / характеристику всей поверхности кремниевых пластин, контроль макродефектов, автоматическую классификацию дефектов и анализ рисунка, анализ текучести, метрологию непрозрачных пленок, тестирование и анализ зондовых карт, усовершенствованную упаковочную литографию, программное обеспечение для управления технологическими процессами и программное обеспечение для управления доходностью. Продукция Компании также используется для управления технологическими процессами на ряде других технологических рынков, включая производство светодиодов, лазеров с вертикальным резонатором, излучающих поверхность, микроэлектромеханических систем, систем хранения данных, а также промышленных и научных приложений.